El sistema de movimiento tridimensional X/Y/Z del sistema de laboratorio Plasmatreater AS400

A fin de determinar los parámetros libres de tratamiento, tales como la densidad de tratamiento y la distancia máxima entre las pistas, así como configurar precisamente la distancia de las toberas y los sustratos a la superficie, el AS400 está equipado con un sistema de movimiento X/Y/Z. Por lo tanto, la velocidad de tratamiento se puede ajustar continuamente entre 1 y máx. 100 m/min y la distancia entre las pistas en pasos de 1mm. La distancia de la tobera al sustrato se puede ajustar manualmente de manera continua, máx. a 40mm distancia.

El sistema de movimiento tridimensional X/Y/Z está integrado en el AS400.

Componentes opcionales:
• Ajuste automático del eje Z
• Absorción del sustrato mediante una placa de vacío
• Complemento en forma de escalones a la placa base para tratamientos con distintos intervalos

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